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第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路(1 / 2)

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黄作平:“????”

袁泽成:“????”

众人:“????”

当林决说出这话后,在场众人目光一下就变得有意思了起来。

袁泽成的手在空中挥了,表情错愕,仿佛想说些什么,但又找不到合适的形容。

过了好半晌之后。

终于。

袁泽成才像是回过神来一般,带着些许不敢置信,

“......已经想到合适方案!?”

林决微微点头,

“是的,在组建班子的这两天里,我认真研究了下光刻胶新的可行思路......”

说到这里,他轻轻一笑,

“大家都是业内专家,肯定也都清楚,目前全世界所有EUV光刻胶,无论是有机CAR,亦或者金属MOR......

成像原理,无不都依赖于化学键。”

“没错.....”

袁泽成闻言点头。

这件事情确实如林决所言。

无论是国内国外,目前关于光刻胶的研发,都是在光子照射,到分子键断开,然后结构破坏,最后溶解改变,完成材料。

虽然每家机构,在之中工程上有着明显差异,但底层逻辑,却是一样的。

“这已经是最成熟的方法了,但如果要创新,恐怕不是一朝一夕就能成,说不定更浪费时间......”

毕竟创新不但要花费大量人力物力试错。

而且最后的结果,也大概率达不到预期。

他更愿意的是......

看到林决在已有的框架上,对产品进行优化。

“袁教授要不先听听我的想法?”

林决对袁泽成倒是没啥意见。

真理是辩出来的。

在研发过程中,工程师在意见不合时,拍桌子互骂的情景,再常见不过了。

再者......

袁泽成作为魔都光机所的带头人。

刚被调过来打下手,可能目前还没适应身份。

劝林决,也几乎是职业养成的下意识反应。

袁泽成一愣,“额......您说。”

见状,林决便打开电脑的投影仪。

下一刻。

一个标题出现在众人眼中。

【笼促配位团簇EUV光刻胶研发思路】。

这个想法,其实早在冯宴发生意外前,林决便在考虑的了。

最后......

先是通过开启【超频】找到思路,最后经过【全知】进行验证后。

林决终于完成了这套方案。

其核心思路。

是彻底抛弃化学键成像机制,利用自主构建EUV激发二次电子,通过静电场缔合,完成溶解度切换。

全程不破坏分子结构,不拖落配体!

其中,最让林决满意的是,这种方法从根源上.......

完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———

真空出气污染!!

目前全世界做法。

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